光等離子凈化器現(xiàn)在也被大家稱為低溫等離子凈化器，該凈化器設備在電催化總的設計概念下，主要是分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但是在原理上有它相似的地方。

光等離子凈化器化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

1.電場+電子→電子

2.電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

3.活性基團+分子(原子)→生成物+熱

4.活性基團+活性基團→生成物+熱

光等離子凈化器在進行外加電場的相關作用下，該凈化器設備是可以進行介質(zhì)放電從而可以產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得。作為環(huán)境污染處理領域中的一項具有潛在優(yōu)勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。